Norme applicabili:
GB/T 8980-1996 Azoto ad alta purezza
GB/T 14599-93 Ossigeno ad alta purezza
GB/T 4844.3-1995 Elio ad alta purezza
GB/T 4842-2006 Argone di alta purezza
GB/T 7445-1995 Idrogeno puro, idrogeno ad alta purezza, idrogeno ultrapuro
GB/T 17873-1999 "Radone puro"
Indicatori di purezza per vari gas specificati nello standard nazionale:
Indicatori del tipo di gas
Prodotti Qualificati di Prima Classe
Purezza dell'azoto di alta purezza 0-2 (V / V) ≥99.999699.999399.999
Contenuto di ossigeno, 10-6 (V / V) ≤1.02.03.0
Contenuto di idrogeno, 10-6 (V / V) ≤0.51.01.0
Contenuto totale di CO, CO2, CH4, 10-6 (V / V) ≤ 1.02.03.0
Alta purezza di argon, 10-2(V/V) ≥99.999699.999399.999
Contenuto di azoto, 10-6 (V / V) ≤245
Contenuto di idrogeno, 10-6 (V / V) ≤ 0,511
Contenuto totale di carbonio (in metano) 10-6 (V / V) ≤ 0,512
elevata purezza di elio elio, 10-2(V/V) ≥99.999699.999399.999
Contenuto di idrogeno, 10-6 (V / V) ≤0.10.51
Contenuto di ossigeno (argone) 10-6 (V / V) ≤ 0,511
Contenuto di azoto, 10-6 (V/V) ≤112
Contenuto di monossido di carbonio, 10-6 (V / V) ≤0.10.20.5
Contenuto di anidride carbonica, 10-6 (V / V) ≤0.20.20.5
Contenuto di metano, 10-6 (V / V) ≤ 0.10.20.5
Alta purezza idrogenica, 10-2(V/V) ≥99.999
Contenuto di ossigeno (argone) 10-6 (V / V) ≤1
Contenuto di azoto, 10-6 (V / V) ≤5
Contenuto di monossido di carbonio, 10-6 (V / V) ≤1
Contenuto di anidride carbonica, 10-6 (V / V) ≤1
Contenuto di metano, 10-6 (V/V) ≤1
Purezza idrogenica ultrapura, 10-2(V/V) ≥99.9999
Contenuto di ossigeno (argone) 10-6 (V / V) ≤0.2
Contenuto di azoto, 10-6 (V / V) ≤0.4
Contenuto di monossido di carbonio, 10-6 (V / V) ≤0.1
Contenuto di anidride carbonica, 10-6 (V / V) ≤0.1
Contenuto di metano, 10-6 (V / V) ≤ 0,2
Alta purezza dell'ossigeno, 10-2(V/V) ≥99.99999.99899.995
Contenuto di argone, 10-6 (V/V) ≤2510
Contenuto di azoto, 10-6 (V / V) ≤51020
Contenuto di anidride carbonica, 10-6 (V / V) ≤ 0,511
Contenuto totale di carbonio (in metano) 10-6 (V / V) ≤ 0,512
GB/T 5829-1995 Criptone
GB/T 5828-1995 Xenon
HG/T 3633-1999 Metano puro
GB/T 10621-2006 Additivo alimentare di anidride carbonica liquida
GB/T 16942-1997 Gas idrogeno per l'industria elettronica
GB/T 16943-1997 - Elio per l'industria elettronica
GB/T 16944-1997 Azoto per l'industria elettronica
GB/T 16945-1997 Argone per l'industria elettronica
GB/T 14604-93 Ossigeno per l'industria elettronica
GB/T 14600-93 "Gas per l'industria elettronica - Ossido di azoto di Argon"
GB/T 14601-93 "Ammoniaca ad alta purezza del gas per l'industria elettronica"
GB/T 14602-93 "Cloruro di idrogeno gas per l'industria elettronica"
GB/T 14603-93
GB/T 18994-2003 "Gas per l'industria elettronica - Cloro di elevata purezza"
GB/T 14851-93 "Fosfina del gas per l'industria elettronica"
GB/T 17874-1999 "Gas per l'industria elettronica - Tricloruro di boro"
GB/T 15909-1995 "Gas Silane per l'industria elettronica"